温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型提供一种晶圆片腐蚀装置，包括：设有药液的槽体；和用于承载晶圆片的调整机构；所述调整机构沿所述槽体长度方向并贯穿所述槽体设置；所述调整机构可控制所述晶圆片原地同心旋转以调整所述晶圆片上V型槽的朝向位置，从而控制所述晶圆片进入所述槽体...该专利属于天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体材料有限公司授权不得商用。