下载具有膜片的MEMS传感器以及用于制造MEMS传感器的方法的技术资料

文档序号:29598211

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本发明涉及一种具有膜片的EMS传感器,其中,所述膜片的基面借助于环绕的壁结构限界,其中,所述基面具有至少两个部分区域,其中,所述部分区域中的至少一个部分区域能偏移地布置,其中,所述至少两个部分区域借助于至少一个分隔结构相对彼此分开或者通过该...
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