具有膜片的MEMS传感器以及用于制造MEMS传感器的方法技术

本发明专利技术涉及一种具有膜片的EMS传感器，其中，所述膜片的基面借助于环绕的壁结构限界，其中，所述基面具有至少两个部分区域，其中，所述部分区域中的至少一个部分区域能偏移地布置，其中，所述至少两个部分区域借助于至少一个分隔结构相对彼此分开或者通过该分隔结构限界，其中，所述分隔结构具有用于使流体通过的至少一个流体通道。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具有膜片的MEMS传感器以及用于制造MEMS传感器的方法
本专利技术涉及一种具有膜片的MEMS传感器。本专利技术还涉及一种用于制造MEMS传感器的方法。虽然本专利技术通常可以应用于任意的具有膜片的MEMS传感器，但本专利技术参照具有能偏移布置的膜片的MEMS压力传感器进行说明。
技术介绍
现今MEMS压力传感器使用在多个领域中，例如使用在汽车技术的领域中，在那里必须快速并且准确地感测压力，例如使用在电子稳定性控制器的区域中或者使用在车辆的抽吸空气管理装置或类似物中。由DE102016107275A1已知一种在使用MEMS装置的情况下用于实施测量的方法，实施MEMS装置具有不同的谐振频率。所述方法包括将激励信号这样施加到MEMS装置的第一端口上，使得多个MEMS传感器中的每个MEMS传感器通过激励信号刺激。所述方法还包括测量在MEMS装置的第二端口处的信号并且基于信号的测量确定所测量的值。MEMS装置包括多个具有来自所谓的“大面(Festland)”的壁的压力单元，在所述壁上布置有压力敏感的矩形的膜片。此外，由EP本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.MEMS传感器(1)，所述MEMS传感器具有膜片(40)，其中，/n所述膜片(40)的基面(41)借助于环绕的壁结构(23)限界，其中，/n所述基面(41)具有至少两个部分区域(A、B、C、D)，其中，所述部分区域(A、B、C、D)中的至少一个部分区域能偏移地布置，其中，所述至少两个部分区域(A、B、C、D)借助于至少一个分隔结构(22)相对彼此分开或者通过该分隔结构限界，其中，所述分隔结构(22)具有用于使流体通过的至少一个流体通道(80)。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20181221 DE 102018222758.61.MEMS传感器(1)，所述MEMS传感器具有膜片(40)，其中，
所述膜片(40)的基面(41)借助于环绕的壁结构(23)限界，其中，
所述基面(41)具有至少两个部分区域(A、B、C、D)，其中，所述部分区域(A、B、C、D)中的至少一个部分区域能偏移地布置，其中，所述至少两个部分区域(A、B、C、D)借助于至少一个分隔结构(22)相对彼此分开或者通过该分隔结构限界，其中，所述分隔结构(22)具有用于使流体通过的至少一个流体通道(80)。


2.根据权利要求1所述的MEMS传感器，其中，所述至少两个部分区域(A、B、C、D)彼此对称地布置在所述基面(41)上，并且尤其相同地构造。


3.根据权利要求1-2中任一项所述的MEMS传感器，其中，所述分隔结构(22)包括至少一个柱。


4.根据权利要求3所述的MEMS传感器，其中，所述分隔结构(22)包括多个柱，所述柱以均匀的间距、尤其分别相对彼此以相同的间距布置。


5.根据权利要求3或4中任一项所述的MEMS传感器，其中，所述至少一个柱(22)在横截面中至少部分圆形地和/或角形地构造，优选梯形地、三角形地、方形地和/或椭圆形地构造。


6.根据权利要求3-5中任一项所述的MEMS传感器，其中，所述至少一个柱(22)具有至少两个区段，所述区段不同地构造。


7.根据权利要求4-6中任一项所述的MEMS传感器，其中，所述柱(22)中的至少两个柱具有不同的直径。

【专利技术属性】
技术研发人员：T·弗里德里希，K·德塞尔，C·赫尔梅斯，
申请(专利权)人：罗伯特·博世有限公司，
类型：发明
国别省市：德国;DE