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本实用新型涉及一种晶圆切割环的尺寸检验工装,包括底座,底座上设有凹槽,凹槽两端分别为晶圆切割环的插入口,凹槽两侧设有定位组件,两组定位组件相对设置,所述定位组件包括调节部,滑动部和弹簧,所述调节部设有腰形孔,调节部与底座通过螺钉连接,螺钉穿...该专利属于苏州恩斯贝格精密机械有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州恩斯贝格精密机械有限公司授权不得商用。
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本实用新型涉及一种晶圆切割环的尺寸检验工装,包括底座,底座上设有凹槽,凹槽两端分别为晶圆切割环的插入口,凹槽两侧设有定位组件,两组定位组件相对设置,所述定位组件包括调节部,滑动部和弹簧,所述调节部设有腰形孔,调节部与底座通过螺钉连接,螺钉穿...