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包括二维半导体材料的半导体器件制造技术
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下载包括二维半导体材料的半导体器件的技术资料
文档序号:29591706
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提供一种半导体器件,其使用二维半导体材料作为沟道层。该半导体器件包括:在衬底上的栅电极;在栅电极上的栅极电介质;在栅极电介质上的沟道层;以及源电极和漏电极,可以电连接到沟道层。栅电极具有高度大于宽度的形状,并且沟道层包括二维半导体材料。...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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