下载一种210大尺寸硅片的清洗方法的技术资料

文档序号:29591282

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本发明公开了一种210大尺寸硅片的清洗方法,包括以下步骤:步骤1:制定超声检测标准并标准化,并使用锡箔纸来检测验证超声是否合格;步骤2:按溢流漂洗‑药洗‑药洗‑漂洗‑药洗‑溢流漂洗的方式制定清洗工艺,确保电导率正常,提升清洗效果,减少脏污;...
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