一种210大尺寸硅片的清洗方法技术

本发明专利技术公开了一种210大尺寸硅片的清洗方法，包括以下步骤：步骤1：制定超声检测标准并标准化，并使用锡箔纸来检测验证超声是否合格；步骤2：按溢流漂洗‑药洗‑药洗‑漂洗‑药洗‑溢流漂洗的方式制定清洗工艺，确保电导率正常，提升清洗效果，减少脏污；步骤3：选择双组份清洗药剂处理大尺寸硅片，试验数据说明其一次污片率低于单组份清洗剂，在大尺寸硅片上选用双组份清洗剂，药剂添加量根据小尺寸清洗机槽体尺寸来测算具体添加量，药剂采用A+B的方式添加，补加量和药剂添加量根据槽体尺寸以及过程取样测试PH值和游离碱度来计算添加。

【技术实现步骤摘要】
一种210大尺寸硅片的清洗方法
本专利技术涉及一种210大尺寸硅片的清洗方法，尤其涉及一种清洗能力强、溢流漂洗顺序和效果好的210大尺寸硅片的清洗方法。
技术介绍
随着硅片行业发展以及市场趋势，大尺寸硅片有助于提升硅片产能、降低单位投资和拉晶能耗，从而降低电池的非硅成本，且目前大尺寸作为新产品，其硅片售价较高、利润高，故大尺寸硅片将大量生产，这对清洗工艺也带来了新的考验，硅片尺寸越大，清洗脏片的管控比较关键，硅片的清洗效果对后道工序也至关重要。现有大尺寸硅片的清洗方法存在如下问题：(1)清洗机超声大小，超声波清洗机原理主要是通过换能器，将功率超声频率的声能转换成机械振动，通过清洗槽壁将超声波辐射到槽子中的清洗液，由于受到超声波的辐射，使槽内液体中的微气泡能够在声波的作用下保持振动，破坏污物与清洗件表面的吸附，引起污物层的疲劳破坏而被剥离。因此超声强弱对污物层的剥离比较关键，清洗效果有直接影响；(2)溢流补水方式，清洗机溢流的主要作用是带走槽体内的泡沫、硅粉等物质，并持续循环置换一部分新的水源，保证溢流槽循环出水，避免在槽口处积累脏物的问本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种210大尺寸硅片的清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：/n步骤1：制定超声检测标准并标准化，并使用锡箔纸来检测验证超声是否合格；/n步骤2：按溢流漂洗-药洗-药洗-漂洗-药洗-溢流漂洗的方式制定清洗工艺，确保电导率正常，提升清洗效果，减少脏污；/n步骤3：选择双组份清洗药剂处理大尺寸硅片，试验数据说明其一次污片率低于单组份清洗剂，在大尺寸硅片上选用双组份清洗剂，药剂添加量根据小尺寸清洗机槽体尺寸来测算具体添加量，药剂采用A+B的方式添加，来维持药剂的清洗能力，补加量和药剂添加量根据槽体尺寸以及过程取样测试PH值和游离碱度来计算添加；/n步骤4：清洗结束后最后就是硅片的烘干，烘干温度管控...

【技术特征摘要】
1.一种210大尺寸硅片的清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤1：制定超声检测标准并标准化，并使用锡箔纸来检测验证超声是否合格；
步骤2：按溢流漂洗-药洗-药洗-漂洗-药洗-溢流漂洗的方式制定清洗工艺，确保电导率正常，提升清洗效果，减少脏污；
步骤3：选择双组份清洗药剂处理大尺寸硅片，试验数据说明其一次污片率低于单组份清洗剂，在大尺寸硅片上选用双组份清洗剂，药剂添加量根据小尺寸清洗机槽体尺寸来测算具体添加量，药剂采用A+B的方式添加，来维持药剂的清洗能力，补加量和药剂添加量根据槽体尺寸以及过程取样测试PH值和游离碱度来计算添加；
步骤4：清洗结束后最后就是硅片的烘干，烘干温度管控在90℃-110℃，前期烘干温度一定时，硅片过两个烘干槽的湿片比例相对略高，硅片只过1个烘干槽，将烘干时间延长至原来两个槽的时间总和，减少热量流失来提升烘干效果。


2.根据权利要求1所述210大尺寸硅片的清洗方法，其特征在于：所述步骤一中：所述验证步骤为：在测试前清洗机槽体内须处于空料和无任何药剂添加状态，槽内温度为常温状态，以实际进水温度为准，锡箔纸放置在清洗机两块振板中间位置，锡箔纸须在15S内均匀击穿，若锡箔纸无法...

【专利技术属性】
技术研发人员：车晓东，
申请(专利权)人：苏州协鑫光伏科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32