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本发明提供一种可形成具有良好的剥离性的聚酰亚胺树脂、移除光致抗蚀剂的方法、层合板、形成金属图案的方法及剥离液。移除光致抗蚀剂的方法包括：于基板上形成离型层，离型层具有彼此相对的第一表面与第二表面，其中离型层的第一表面与基板接触；于离型层的第...
该专利属于新应材股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过新应材股份有限公司授权不得商用。

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