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一种光学腔气压传感器制造技术
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下载一种光学腔气压传感器的技术资料
文档序号:29579276
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本发明涉及一种光学腔气压传感器,封闭壳体包括依次首尾连接的第一外壁、第二外壁、第三外壁以及感压膜;封闭壳体内设置有内壁,内壁一端连接第一外壁,另一端通过无序的纳米团簇连接第二外壁;第一外壁、内壁、无序的纳米团簇、第二外壁、第三外壁以及感压膜...
该专利属于李永选所有,仅供学习研究参考,未经过李永选授权不得商用。
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