一种光学腔气压传感器制造技术

本发明专利技术涉及一种光学腔气压传感器，封闭壳体包括依次首尾连接的第一外壁、第二外壁、第三外壁以及感压膜；封闭壳体内设置有内壁，内壁一端连接第一外壁，另一端通过无序的纳米团簇连接第二外壁；第一外壁、内壁、无序的纳米团簇、第二外壁、第三外壁以及感压膜组成第二封闭腔体；反射部设置在第三外壁上，反射部与无序的纳米团簇之间具有间距；感压膜受到外界气压发生形变，第二封闭腔体内的气压会发生变化，间距大小会发生变化。本发明专利技术根据气压不同时，无序的纳米团簇、反射部以及两者之间的气室构成的光学腔厚度不同，反射光的波长不同来检测气压。由于反射光的波长受此光学腔的厚度变化非常敏感，所以本发明专利技术具有极高的检测灵敏度和检测精度。

【技术实现步骤摘要】
一种光学腔气压传感器
本专利技术涉及气压检测
，特别是涉及一种光学腔气压传感器。
技术介绍
现有光学腔气压传感器结构一般包括有塑胶框架和光学腔气压传感器芯片，利用塑胶框架作为光学腔气压传感器芯片的载体，再用胶水固定住光学腔气压传感器芯片，当气压传递到光学腔气压传感器芯片时，光学腔气压传感器芯片上的薄膜产生型变，上面的电阻值随即发生变化，进行输出电压信号。但是塑胶框架封装的光学腔气压传感器芯片因塑胶材料和光学腔气压传感器芯片材料的材质不同，造成在不同的温度下因热胀冷缩的差异造成光学腔气压传感器芯片输出误差比较大，影响光学腔气压传感器检测的精度以及灵敏度。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种光学腔气压传感器，能更精准、更灵敏度地检测气压大小。为实现上述目的，本专利技术提供了如下方案：一种光学腔气压传感器，所述光学腔气压传感器包括封闭壳体、无序的纳米团簇、反射部、激光器以及探测器；所述无序的纳米团簇、所述反射部、所述激光器以及所述探测器设置在所述封闭壳体内；所述封闭壳体包括依次首尾连接的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光学腔气压传感器，其特征在于，所述光学腔气压传感器包括封闭壳体、无序的纳米团簇、反射部、激光器以及探测器；/n所述无序的纳米团簇、所述反射部、所述激光器以及所述探测器设置在所述封闭壳体内；/n所述封闭壳体包括依次首尾连接的第一外壁、第二外壁、第三外壁以及感压膜；所述封闭壳体内设置有内壁，所述内壁一端连接所述第一外壁，所述内壁另一端通过所述无序的纳米团簇连接所述第二外壁；所述第一外壁、所述第二外壁、所述无序的纳米团簇以及所述内壁组成第一封闭腔体；所述第一外壁、所述内壁、所述无序的纳米团簇、所述第二外壁、所述第三外壁以及所述感压膜组成第二封闭腔体；/n所述反射部设置在所述第三外壁上，所述反...

【技术特征摘要】
1.一种光学腔气压传感器，其特征在于，所述光学腔气压传感器包括封闭壳体、无序的纳米团簇、反射部、激光器以及探测器；
所述无序的纳米团簇、所述反射部、所述激光器以及所述探测器设置在所述封闭壳体内；
所述封闭壳体包括依次首尾连接的第一外壁、第二外壁、第三外壁以及感压膜；所述封闭壳体内设置有内壁，所述内壁一端连接所述第一外壁，所述内壁另一端通过所述无序的纳米团簇连接所述第二外壁；所述第一外壁、所述第二外壁、所述无序的纳米团簇以及所述内壁组成第一封闭腔体；所述第一外壁、所述内壁、所述无序的纳米团簇、所述第二外壁、所述第三外壁以及所述感压膜组成第二封闭腔体；
所述反射部设置在所述第三外壁上，所述反射部与所述无序的纳米团簇之间具有间距；所述感压膜受到外界气压发生形变，所述第二封闭腔体内的气压会发生变化，所述间距大小会发生变化；
所述激光器以及所述探测器设置在所述第一封闭腔体内；所述激光器发出的光照射所述无序的纳米团簇并到达所述反射部，所述探测器用于探测所述激光器发出的...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：李永选，
类型：发明
国别省市：陕西;61