下载一种高精度光纤六轴定位平台的技术资料

文档序号:29578672

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本发明公开了一种高精度光纤六轴定位平台,包括X轴运动部件、Y轴运动部件、Z轴运动部件、旋转运动部件、Y侧角摆台和X侧角摆台;所述X轴运动部件与所述Y轴运动部件设为一体,所述Z轴运动部件设于所述Y轴运动部件之上,所述旋转运动部件固定在所述Z轴...
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