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本发明公开了一种通过热处理调控大斜切角氮化铝薄膜的缺陷制备方法：(1)对放置有蓝宝石衬底的溅射腔室抽真空；(2)通入气体，升温加热衬底，调整腔室压强设置溅射功率，在蓝宝石衬底上溅射沉积氮化铝薄膜；(3)将氮化铝薄膜以面对面贴合的方式放置，通...
该专利属于广西大学所有，仅供学习研究参考，未经过广西大学授权不得商用。

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