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本发明所涉及的研磨垫是包含聚氨酯树脂发泡体的研磨垫，具有研磨面，该研磨面由上述聚氨酯树脂发泡体的表面构成，上述聚氨酯树脂发泡体包含多个气泡，具有65％以上的空隙率，在上述多个气泡中以15％以上的个数比包含具有200μm以上的气泡直径的大径气...
该专利属于霓达杜邦股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过霓达杜邦股份有限公司授权不得商用。

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