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本发明公开了一种精确控制温度和压力的压合装置，包括温箱单元、压合单元以及压力控制单元，所述压合单元位于温箱单元内部，所述温箱单元正上方设有压力控制单元，所述温箱单元用于提供标的物测试所需环境温度，所述压合单元用于提供密封测试腔，所述压力控制...
该专利属于北京清大天达光电科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京清大天达光电科技股份有限公司授权不得商用。

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