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本发明提供了一种铝钪合金靶材的扩散焊接方法，所述扩散焊接方法包括：将背板的焊接面进行车削螺纹处理，然后将铝钪合金靶材和背板装配后放入包套内；将包套封口后进行脱气处理；将脱气后的包套进行热等静压焊接，冷却后得到焊接后的靶材组件。本发明所述扩散...
该专利属于宁波江丰电子材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波江丰电子材料股份有限公司授权不得商用。

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