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本实用新型涉及一种基座、基板支撑部以及包括基座和基板支撑部的基板处理装置，该基座包括：基底，用于支撑基板；以及涂层，形成在所述基底上，用于放置基板，其中，所述涂层包括：第一涂层，支撑所述基板；以及第二涂层，形成为包围所述基板的侧面，其中，所...
该专利属于周星工程股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过周星工程股份有限公司授权不得商用。

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