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本实用新型提供一种新型SUB基板识别系统，包括真空吸附基板、底部灯光和顶部灯光，真空吸附基板顶部设置有吸嘴板，吸嘴板的四周均小于真空吸附基板的四周，真空吸附基板在无吸嘴板投影区域的边界上通过扩散器安装有顶部灯光；底部灯光设置在真空吸附基板的...
该专利属于海太半导体(无锡)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过海太半导体(无锡)有限公司授权不得商用。

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