下载用于测量的系统的技术资料

文档序号:29548399

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本申请公开了一种用于测量的系统。测量系统配置为与处理设备集成,处理设备用于对结构进行光学测量,测量系统包括:支撑组件,用于将待测结构保持在测量平面中,使结构沿着至少一个第一横轴移动,并且用于通过z轴载物台改变测量平面的z轴位置;其中,z轴载...
该专利属于诺威量测设备股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过诺威量测设备股份有限公司授权不得商用。

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