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一种进料装置，适用于将基板移载至输送装置，该基板具有第一面及相反于该第一面的第二面。该进料装置包含输送机构及翻转机构。输送机构具有第一端及相反于该第一端的第二端，该输送机构适用于将该基板自该第一端朝该第二端输送，该基板在沿着水平方向延伸且该...
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