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微纳结构图形试样的高速跟踪方法,包括计算机、照明成像模块、二向色棱镜、调焦机构、压电陶瓷、物镜、待跟踪的微纳结构图形试样、工件台、探测器、象散模块、分光模块、扩束镜、激光器和控制器。将待跟踪的微纳结构图形试样放置于工件台上，通过调焦机构的上...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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