下载具有减少接通电阻的竖直传导电子功率器件及制造工艺的技术资料

文档序号:29529910

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本公开的实施例涉及具有减少接通电阻的竖直传导电子功率器件及制造工艺。一种竖直传导电子功率器件,包括:主体,由第一表面和第二表面界定并且具有半导体材料的外延层,以及衬底。外延层由主体的第一表面界定,并且衬底由主体的第二表面界定。外延层至少包含...
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