下载一种铁电二维场效应晶体管及其制备方法的技术资料

文档序号:29529904

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本发明提供一种铁电二维场效应晶体管及其制备方法,晶体管包括由下至上依次为底部金电极层、铁电衬底层、沟道层、钛层、顶部金电极层和包覆层,所述底部金电极层用作底栅,所述顶部金电极层用作源极、漏极和顶栅,所述包覆层用于防止器件氧化,所述铁电衬底层...
该专利属于南京邮电大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京邮电大学授权不得商用。

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