下载存储器阵列和用于形成存储器阵列的方法的技术资料

文档序号:29529805

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本公开涉及存储器阵列和用于形成存储器阵列的方法。一种用于形成包括存储器单元串的存储器阵列的方法包括:形成包括竖直交替的第一层和第二层的堆叠,其中具有沟道材料串。导电通孔穿过所述沟道材料串正上方的绝缘材料形成。所述导电通孔中的个别导电通孔直接...
该专利属于美光科技公司所有,仅供学习研究参考,未经过美光科技公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。