下载动态随机存取存储器及其制备方法的技术资料

文档序号:29529802

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本发明提供了一种动态随机存取存储器,包括衬底、晶体管和电容器;所述晶体管设置于所述衬底的上表面;所述电容器设置于所述衬底内部且与所述晶体管电接触,所述电容器包括第一沟槽和第二沟槽,所述第一沟槽和所述第二沟槽的朝向方向不同且相连通构成所述电容...
该专利属于复旦大学;上海集成电路制造创新中心有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过复旦大学;上海集成电路制造创新中心有限公司授权不得商用。

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