下载转移头、转移装置和转移方法的技术资料

文档序号:29529658

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本发明实施例公开了一种转移头、转移装置和转移方法。所述转移头包括:衬底;多个转移部,所述转移部位于所述衬底上;所述转移部包括远离所述衬底一侧的转移结合面,所述转移结合面用于与所述芯片粘合;其中,所述转移结合面与所述芯片的结合力可调。与现有技...
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