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本发明涉及一种晶圆加工装置、晶圆传送组件及其工作方法，晶圆传送组件包括移动机构与吹扫结构。移动机构包括托盘。托盘能带动晶圆移动到工艺腔室中或者移出到工艺腔室的外部。吹扫机构设有吹扫面，吹扫面的吹扫区域能完全覆盖托盘上放置的晶圆。当移动机构的...
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