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本发明公开了一种晶圆自动定位示教系统及方法，所述晶圆自动定位示教系统包括：承载台；示教盘，朝向所述承载台的一侧的中心设有图像采集装置，用于采集所述承载台的图像；搬运装置，用于搬运所述示教盘或晶圆；定位装置，设置在所述搬运装置上，用于获取所述...
该专利属于宁波润华全芯微电子设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波润华全芯微电子设备有限公司授权不得商用。

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