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一种用于蚀刻半导体晶片的设备制造技术
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下载一种用于蚀刻半导体晶片的设备的技术资料
文档序号:29529644
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本发明公开了一种用于蚀刻半导体晶片的设备,涉及半导体晶片加工设备技术领域,具体为一种用于蚀刻半导体晶片的设备,包括机壳、放置架,所述机壳的正面铰接有柜门,所述机壳内腔的中部固定连接有蚀刻台。该用于蚀刻半导体晶片的设备,通过第一斜齿轮、第二斜...
该专利属于王珏所有,仅供学习研究参考,未经过王珏授权不得商用。
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