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本实用新型公开了一种适用硅晶圆涂胶清洗的旋转摆臂机构，包括安装座以及位于所述安装座上的摆臂组件；所述安装座上设置有上层块与下层块，所述摆臂组件包括驱动马达与由所述驱动马达驱动的摆臂转轴，所述驱动马达通过马达固定板与所述安装座连接，所述摆臂转...
该专利属于苏州汉立光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州汉立光电科技有限公司授权不得商用。

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