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本发明涉及一种光斑光强度分布测量装置及方法，其主要组成元件为：功率计、带透过孔径的遮挡屏、XZ轴平动机械装置、机械控制系统和计算机。所述的功率计与计算机相连，导轨与控制系统相连。利用上述装置，通过透过孔径确定光斑内待测位置，光束透过遮挡板上...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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