温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
一种双侧斐索干涉仪检测装置，包括光源模块，第一干涉仪主机，第二干涉仪主机，第一标准镜，第二标准镜，被测非透明平面；所述的第一干涉仪主机、第二干涉仪主机均为斐索干涉仪。本发明将点光源位于准直镜的焦面但不在焦点上，从而使经准直镜透射的出射光与干...该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所;上海精测半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所;上海精测半导体技术有限公司授权不得商用。