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半导体晶圆承载结构及有机金属化学气相沉积装置制造方法及图纸
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文档序号:29520220
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本发明提供一种半导体晶圆承载结构及有机金属化学气相沉积装置。所述半导体晶圆承载结构,包括:承载本体,其具有表面;保护膜层,覆盖此表面;承载盘,设置于承载本体上;以及图案化镀膜层,形成于承载盘上,其中图案化镀膜层具有两种以上不同的厚度。...
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