下载一种从半导体显影废水中回收四甲基氯化铵的方法的技术资料

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本发明属于废水资源综合利用技术领域,具体涉及一种从半导体显影废水中回收四甲基氯化铵的方法。该方法首先是将四甲基氯化铵废水过滤后加入减压蒸馏装置中进行蒸发结晶;然后,将清洗剂乙酸乙酯加入蒸发结晶后的蒸发釜内进行第一次清洗、抽滤;再对第一次清洗...
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