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本发明涉及一种氮化镓单晶片固定装置及抛光方法，属于晶体加工技术。本发明针对碳化硅、蓝宝石等异质衬底上生长的氮化镓单晶厚膜材料的外形特征，其单晶材料与衬底片之间由于热失配及晶格失配产生裂缝，剥离过程中容易碎裂，即使剥离开来，其厚度较小，厚度差...
该专利属于南通大学所有，仅供学习研究参考，未经过南通大学授权不得商用。

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