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包含用于无空隙亚微米特征填充的添加剂的用于镀钴的组合物制造技术
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下载包含用于无空隙亚微米特征填充的添加剂的用于镀钴的组合物的技术资料
文档序号:29501878
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本发明涉及一种组合物,其包含基本上由钴离子组成的金属离子和包含羧酸、磺酸、亚磺酸、膦酸或次膦酸官能团的特定单体和聚合物抑制剂,其显示无空隙自下而上填充纳米大小的凹陷特征所需的抑制效果。...
该专利属于巴斯夫欧洲公司所有,仅供学习研究参考,未经过巴斯夫欧洲公司授权不得商用。
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