温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

提供一种基板传送装置及基板传送系统，其通过提高各个真空传送机器人的运转率，由此即使真空传送机器人的个数少，也能够实现与以往同等的作业效率。该基板传送装置具备：真空传送腔室；设置在该真空传送腔室的内部的真空传送机器人；以及使所述真空传送机器人...
该专利属于平田机工株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过平田机工株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。