基板传送装置及基板传送系统制造方法及图纸

提供一种基板传送装置及基板传送系统，其通过提高各个真空传送机器人的运转率，由此即使真空传送机器人的个数少，也能够实现与以往同等的作业效率。该基板传送装置具备：真空传送腔室；设置在该真空传送腔室的内部的真空传送机器人；以及使所述真空传送机器人相对于所述真空传送腔室行进的输送单元，所述真空传送机器人具有支承于所述输送单元的机器人基部。所述基板传送装置还具备设置在所述机器人基部的上部并用于临时放置基板的至少两个基板载置台。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】基板传送装置及基板传送系统
本专利技术涉及将半导体晶圆在真空环境下传送的基板传送装置及基板传送系统。本申请对于在2018年12月11日提出申请的日本特愿2018-231644号主张优先权，并将其内容援引于此。
技术介绍
已知有具备在大气环境下进行基板传送的大气传送模块、在真空环境下进行基板传送的基板传送装置(真空传送模块)以及将该基板传送装置与大气传送装置连接的装载锁定腔室的基板传送系统。作为该基板传送装置，已知有在真空传送腔室中对应于进行各种处理的多个工序模块地设置多个真空传送机器人且在相邻的真空传送机器人彼此之间分别设有基板载置台的装置。根据该基板传送系统，从大气传送模块向装载锁定腔室送入基板，送入到装载锁定腔室的基板由真空传送机器人向真空传送腔室送入。送入到真空传送腔室的基板由真空传送机器人向工序模块送入。在工序模块中，例如将成膜处理后的基板由真空传送机器人临时放置于基板载置台进行冷却(参照专利文献1)。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特开2017-79329号公报专利
技术实现思路
专本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板传送装置，其特征在于，具备：/n真空传送腔室；/n设置在该真空传送腔室的内部的真空传送机器人；以及/n使该真空传送机器人相对于所述真空传送腔室行进的输送单元，/n所述真空传送机器人具有支承于所述输送单元的机器人基部，/n所述基板传送装置还具备设置在该机器人基部的上部并用于临时放置基板的至少两个基板载置台。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20181211 JP 2018-2316441.一种基板传送装置，其特征在于，具备：
真空传送腔室；
设置在该真空传送腔室的内部的真空传送机器人；以及
使该真空传送机器人相对于所述真空传送腔室行进的输送单元，
所述真空传送机器人具有支承于所述输送单元的机器人基部，
所述基板传送装置还具备设置在该机器人基部的上部并用于临时放置基板的至少两个基板载置台。


2.根据权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，
所述输送单元具有：
引导机构，其设置于所述真空传送腔室的壳体内壁，将所述机器人基部支承为行进自如；以及
输送机构，其与由该引导机构支承的所述机器人基部连接。


3.根据权利要求2所述的基板传送装置，其特征在于，
所述引导机构具有将所述真空传送腔室内分隔成上下两个空间的分隔构件，
在上方的所述空间内配置所述真空...

【专利技术属性】
技术研发人员：开田准一，
申请(专利权)人：平田机工株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP