下载一种压电驱动的高精度光学偏转伺服装置及其工作方式的技术资料

文档序号:29496691

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本发明公开了一种压电驱动的高精度光学偏转伺服装置及其工作方式,光学偏转伺服装置包括内环、中环、外环、以及四个偏转驱动单元;内环、中环、外环由内至外依次设置且圆心重合,外环通过两个偏转驱动单元驱动中环转动,中环通过另外两个偏转驱动单元驱动内环...
该专利属于南京航空航天大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京航空航天大学授权不得商用。

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