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本发明涉及一种微小型两自由度超声电机及其驱动方法，该微小型两自由度超声电机包括基座、x轴运动单元、y轴运动单元和载物台，其中x轴运动单元固定连接在基座上，y轴运动单元固定连接在x轴运动单元的从动件上，载物台固定连接在y轴运动单元的从动件上。...
该专利属于吉林大学所有，仅供学习研究参考，未经过吉林大学授权不得商用。

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