一种微小型两自由度超声电机及其驱动方法技术

本发明专利技术涉及一种微小型两自由度超声电机及其驱动方法，该微小型两自由度超声电机包括基座、x轴运动单元、y轴运动单元和载物台，其中x轴运动单元固定连接在基座上，y轴运动单元固定连接在x轴运动单元的从动件上，载物台固定连接在y轴运动单元的从动件上。驱动方法是：x轴运动单元与y轴运动单元的运动互相独立，驱动方法一致，通过控制x轴运动单元与y轴运动单元的压电叠堆的超声激励信号，在x轴和y轴分别可以实现合成锯齿波，从而产生两个轴的独立运动。优点在于：装置结构微型化、驱动方法简单、速度快、精度高、成本低、易于集成，可用作手机内置相机防抖装置，在微型设备等应用空间受限的使用场合具有广阔的应用前景。

【技术实现步骤摘要】
一种微小型两自由度超声电机及其驱动方法
本专利技术涉及微特电机
，特别涉及一种微小型两自由度超声电机及其驱动方法，该超声电机结构简单、尺寸小，输出力大、且驱动方法简单，适用于微小空间内物体的精密定位以及驱动。
技术介绍
超声电机因具有低速大转矩、噪声小、响应快、不受电磁干扰等特点，在航空航天工程、光学工程、精密仪器等领域得到了广泛的应用，对于微型化超声电机来说，压电陶瓷薄片具有设计灵活的优点，常用作微型超声电机的驱动源，然而压电陶瓷薄片基于机电耦合效率低的d31模式工作，输出能力受限；且目前的超声电机大多是基于超声激发弹性体共振而实现相应驱动的，这种方式结构设计复杂、且运动不稳定；这些问题限制了微型超声电机的实际应用发展。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种微小型两自由度超声电机及其驱动方法，利用压电叠堆作为驱动源，在保证了结构微型化的基础上，具有更优异、稳定的输出能力，具有两自由度输出的能力，能够满足微小空间内对于物体的平面精密定位。本专利技术的上述目的通过以下技术方案实现：>一种微小型两自由度本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微小型两自由度超声电机，其特征在于：由基座(1)、x轴运动单元(2)、y轴运动单元(3)和载物台(4)组成；所述的x轴运动单元(2)通过压电叠堆a(2-1)固定连接在基座(1)上；所述的y轴运动单元(3)通过压电叠堆c(3-1)固定连接在x轴运动单元(2)的从动件a(2-4)上；所述的载物台(4)固定连接在y轴运动单元(3)的从动件b(3-4)上。/n

【技术特征摘要】
1.一种微小型两自由度超声电机，其特征在于：由基座(1)、x轴运动单元(2)、y轴运动单元(3)和载物台(4)组成；所述的x轴运动单元(2)通过压电叠堆a(2-1)固定连接在基座(1)上；所述的y轴运动单元(3)通过压电叠堆c(3-1)固定连接在x轴运动单元(2)的从动件a(2-4)上；所述的载物台(4)固定连接在y轴运动单元(3)的从动件b(3-4)上。


2.根据权利要求1所述的一种微小型两自由度超声电机，其特征在于：所述的基座(1)由凸台a(1-1)、中空腔体(1-2)、凸台b(1-3)组成。


3.根据权利要求1所述的一种微小型两自由度超声电机，其特征在于：所述的x轴运动单元(2)由压电叠堆a(2-1)、压电叠堆b(2-2)、连接杆a(2-3)、从动件a(2-4)组成，所述的压电叠堆b(2-2)粘结在压电叠堆a(2-1)上，所述的连接杆a(2-3)粘结在压电叠堆b(2-2)上，所述的从动件a(2-4)以自适应预紧的方式安装在连接杆a(2-3)上。


4.根据权利要求1所述的一种微小型两自由度超声电机，其特征在于：所述的y轴运动单元(3)由...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄虎，李轩，徐智，
申请(专利权)人：吉林大学，
类型：发明
国别省市：吉林;22