下载一种SOI体接触器件结构及其形成方法的技术资料

文档序号:29494989

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供的一种SOI体接触器件结构及其形成方法中,所述SOI体接触器件结构包括SOI衬底,所述SOI衬底具有有源区,所述SOI衬底的有源区上形成有SAB层和栅极结构,所述SAB层和栅极结构垂直且呈T字型设置,所述SAB层和栅极结构将所述有...
该专利属于上海华虹宏力半导体制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华虹宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。