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本实用新型公开了一种用于晶圆切割机的镜面盘，包括镜面盘本体，所述镜面盘本体的圆周侧面设置有四个等圆心角的弧形耳块，所述镜面盘本体内设置有直线型气道孔，所述小孔与所述气道孔连通，所述镜面盘本体的底面设置有圆槽，所述圆槽与所有的气道孔的进气端连...
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