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基于多重修正的荧光染色薄膜厚度测量标定方法技术
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文档序号:29484490
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本发明以若干不同标准厚度薄膜的荧光照片作为样本,基于多项式并考虑荧光成像区域的光学特性,建立薄膜厚度与荧光强度之间的关系式,构建标定系数方程组并求解,使用统计学方法减小随机误差,得到标定系数表。拍摄待测薄膜的荧光照片,基于标定系数表以及薄膜...
该专利属于北京理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京理工大学授权不得商用。
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