温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种铂金薄膜，所述铂金薄膜通过采用过渡层衔接衬底和铂膜层，并选用氮化铝、二氧化硅、氮化硅或蓝宝石作衬底，相较于原有氧化铝陶瓷衬底而言，表面平整度更高，缺陷密度更低，以此提供一个更加优良的衬底环境；制得的铂金薄膜层均匀性更佳；同时采...
该专利属于上海铂源微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海铂源微电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。