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本发明实施例公开了一种除静电装置。除静电装置包括剥离治具、接料通道、接料容器以及离子风模块，确保在半导体芯片从UV膜剥离过程中，针对每个产生静电的区域均有离子风来中和静电，同时，又避免了离子风将半导体芯片吹飞造成飞料和混料。...
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