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本实用新型为一种微波/毫米波集成电路芯片内部检测装置，本实用新型通过如下技术方案实现：它包括微波/毫米波信号转化模块，将微波/毫米波信号的指定参数转化为可测参数；参考参数编辑模块，用于编辑参考参数；比较模块，通过预留的参考参数与可测参数进行...
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