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本实用新型公开了一种单晶硅圆片的自动化检测装置，包括检测台，检测台上装设有支撑板，支撑板上开设有滑槽，滑槽的槽壁之间装设有螺杆一，螺杆一上滑动套设有移动块，移动块上开设有移动孔，移动块上开设有开槽，开槽的两侧槽壁之间装设有螺杆二，螺杆二上滑...
该专利属于射洪汉武半导体制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过射洪汉武半导体制造有限公司授权不得商用。

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