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本发明公开了一种复合衬底的热膨胀系数测试方法，所述方法包括以下步骤：在复合衬底处于第一温度时，获取复合衬底的第一曲率；加热复合衬底，使得复合衬底以预设升温速度升温，直至复合衬底的温度达到第二温度，获取复合衬底的第二曲率；冷却复合衬底，使得复...
该专利属于上海新硅聚合半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海新硅聚合半导体有限公司授权不得商用。

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