下载一种自动对焦装置、方法以及面板缺陷检测系统的技术资料

文档序号:29454499

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本发明提供了一种自动对焦装置、方法以及面板缺陷检测系统,涉及面板缺陷检测技术领域,该自动对焦装置包括音圈电机、第一测距传感器、位置编码器和控制器,第一测距传感器监测光学检测单元到待检测面板表面的距离并将检测数据发送给控制器,从而便于控制器将...
该专利属于哈工大机器人(中山)无人装备与人工智能研究院所有,仅供学习研究参考,未经过哈工大机器人(中山)无人装备与人工智能研究院授权不得商用。

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