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一种测量金属互连线力／电耦合作用下表面变形的方法，属于变形检测、光测力学技术领域。本发明利用离子束刻蚀法或电子束刻蚀法在金属互连线表面制作光栅，通过力／电耦合加载系统进行加载，由光学显微镜及图像采集装置实时拍摄加载前及加载过程中的光栅图像，...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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